Разработка гибридной технологии производства многокристальных микросхем с одновременным применением процессов корпусирования
Flip-Chip и Wire Bond для создания отечественных импортозамещающих микроэлектронных модулей высокой степени интеграции

Результаты III этапа

На третьем этапе ПНИЭР выполнены работы по отработке гибридной технологии производства многокристальных микросхем системы корпус на корпусе TMV POP на макетах и экспериментальных образцах, изготовленных на предприятии Индустриального партнера, разработан проект ТЗ на ОКТР по результатам ПНИЭР.

Были получены следующие результаты:

  • Разработана конструкторская документация на подложки, на макеты и экспериментальные образцы гибридных многокристальных микросхем по методу TMV PoP в соответствии с Комплектностью.
  • Для изготовления и проведения исследовательских испытаний разработаны лабораторные регламенты, программы и методики исследовательских испытаний макетов и экспериментальных образцов по отработке гибридного многокристального корпусирования по методу TMV PoP.
  • В соответствии с конструкторской документацией изготовлены макеты и проведены их исследовательские испытания по отработке гибридного многокристального корпусирования по методу TMV PoP.
  • Разработана технологическая документация для процесса гибридного многокристального корпусирования по методу TMV PoP в соответствии с Комплектностью.
  • Изготовлены экспериментальные образцы микросхем по методу TMV PoP и проведены их исследовательские испытания.
  • Выполнена проверка результатов ПНИЭР на соответствие требованиям ТЗ.
  • Разработан проект ТЗ на ОКТР по результатам ПНИЭР.
  • Проведены дополнительные патентные исследования в соответствии с ГОСТ Р 15.011-96.
  • Выполнена модернизация оборудования Индустриального партнера для отработки технологии гибридного многокристального корпусирования в соответствии с планом оснащения опытного производства для организации и обеспечения выполнения ПНИЭР: изготовления макетов и экспериментальных образцов системы корпус на корпусе по методу TMV PoP, выполнения исследовательских испытаний на производственных мощностях ИП.

По итогам работ были достигнуты следующие показатели:

  • Объем привлеченных внебюджетных средств превышает 30 млн руб.
  • Доля исследователей в возрасте до 39 лет в общей численности исследователей-участников проекта составляет более 82%.
  • Средний возраст исследователей – участников проекта составляет не более 35 лет.
  • Количество мероприятий по демонстрации и популяризации результатов и достижений науки, в которых приняли участие и представили результаты проекта ПетрГУ и индустриальный партнер проекта – 5.
  • В проекте использовались ресурсы центра коллективного пользования научным оборудованием ПетрГУ, в том числе лицензионный класс по разработке печатных плат.
  • В проекте использовались объекты зарубежной инфраструктуры компании Disco, в том числе оборудование лазерной резки DFL 7160 и оборудование дисковой резки DFD 6560.
  • Число публикаций по результатам исследований и разработок в научных журналах, индексируемых в базе данных Scopus или в базе данных «Сеть науки» (WEB of Science), обеспечивающем продвижение результатов проекта и расширение круга заинтересованных в использовании результатов организаций – 4.
  • Число результатов интеллектуальной деятельности и средств индивидуализации, планируемых к получению при выполнении работ и обеспечивающих возможность получателю субсидии и (или) индустриальному партнёру исключительного положения на рынках продукции (товаров, услуг) и (или) технологий, в том числе рынках Национальной технологической инициативы – 5.
  • Число патентных заявок, поданных по результатам исследований и разработок – 4.
  • Ожидаемая аудитория мероприятий по демонстрации и популяризации результатов и достижений науки, на которых представлены результаты проекта – свыше 1.85 млн чел.
  • Ожидаемая интернет-аудитория мероприятий по демонстрации и популяризации результатов и достижений науки, на которых представлены результаты проекта – свыше 361 тысяч пользователей.

Ершова
Наталья Юрьевна

кандидат физико-математических наук, руководитель проекта

 Контакты

Телефон(ы):
(814-2) 71-96-80

Учебный корпус № 6, 109 каб.

ershova@petrsu.ru