Разработка гибридной технологии производства многокристальных микросхем с одновременным применением процессов корпусирования
Flip-Chip и Wire Bond для создания отечественных импортозамещающих микроэлектронных модулей высокой степени интеграции

Результаты I этапа

На первом этапе ПНИЭР были выполнены следующие виды работ:

  • Выполнен аналитический обзор современной научно-технической литературы и технической документации в части технологий гибридного корпусирования микроэлектронных модулей высокой степени интеграции, включая анализ существующих технологий и решений проектирования и производства многокристальных микросхем.
  • Проведены патентные исследования по уровню техники в части технологий гибридного корпусирования микроэлектронных модулей высокой степени интеграции.
  • Разработана Комплектность технической документации, разрабатываемой по проекту, согласованная с Индустриальным партнером.
  • Разработана конструкторская документация на подложки для гибридного многокристального корпусирования по методу SiP, включая чертежи общего вида подложки и послойно.
  • Разработана конструкторская документация на макеты, предназначенных для отработки отдельных технологических операций гибридного многокристального корпусирования по методу SiP, включая спецификацию на материалы, пояснительную записку и чертежи трех кристаллов.
  • Изготовлены макеты в соответствии с конструкторской документацией для проведения исследовательских испытаний по отработке гибридного многокристального корпусирования по методу SiP.
  • Разработан лабораторный регламент для исследовательских испытаний по отработке гибридного многокристального корпусирования по методу SiP.
  • Разработана программа и методики исследовательских испытаний по отработке гибридного многокристального корпусирования по методу SiP.
  • Проведены исследовательские испытания по отработке гибридного многокристального корпусирования по методу SiP.
  • Разработана технологическая документация для процесса гибридного многокристального корпусирования по методу SiP, включая маршрутную карту и карту технологической информации.
  • Произведена закупка расходных материалов для постановки технологического процесса.
  • Проведен анализ имеющегося производственного оборудования индустриального партнеры. Разработаны рекомендации по использованию производственного оборудования для проведения экспериментов.
  • Разработано техническое задание на подготовку помещений, оборудования и инженерных сетей для опытного производства ИМСП (АО «ДжиЭс Нанотех»).
  • Разработан план мероприятий по подготовке помещений, оборудования и инженерных сетей для опытного производства ИМСП (АО «ДжиЭс Нанотех»).
  • Проведены работы по подготовке помещений и инженерных сетей в соответствии планом мероприятий (АО «ДжиЭс Нанотех»);
  • Разработан план оснащения опытного производства в соответствии с рекомендациями по использованию производственного оборудования для проведения экспериментов (АО «ДжиЭс Нанотех»).
  • Проведена модернизация оборудования индустриального партнёра для отработки технологии гибридного многокристального корпусирования в соответствии с планом оснащения опытного производства (АО «ДжиЭс Нанотех»).
  • Проведены работы по организации и обеспечению изготовления макетов, полученных по технологии гибридного многокристального корпусирования по методу SiP (АО «ДжиЭс Нанотех»).
  • Проведены работы по организации и обеспечению исследовательских испытаний по отработке гибридного многокристального корпусирования по методу SiP (АО «ДжиЭс Нанотех»).

К основным результатам, полученным на первом этапе ПНИЭР можно отнести разработку КД и изготовление макетов на производственном оборудовании ИП, проведение исследовательских испытаний, разработку технологической документации, закупку расходных материалов для постановки технологического процесса изготовления экспериментальных образцов гибридных многокристальных микросхем по методу SiP.

Перечень результатов  на первом этапе ПНИЭР соответствует всем пунктам Приложения № 2 (План – график) Соглашения о предоставлении субсидии от 20.12.2018 № 05.577.21.0293.

Ершова
Наталья Юрьевна

кандидат физико-математических наук, руководитель проекта

 Контакты

Телефон(ы):
(814-2) 71-96-80

Учебный корпус № 6, 109 каб.

ershova@petrsu.ru